Inline System

  • inline System
  • inline System

▷ 기판이 이동하면서 증착 공정이 이루어 지는 Inline Type으로 생산성이 매우 우수한 시스템.
▷ OLED 조명 Panel 생산에 최적화

Specification
Deposition Type In-Line Horizontal Type
Substrate Size Mass : ~ Gen.5.5
R&D ~ P/P : ~ Gen.2
Tact Time Mass : 2mins
R&D ~ P/P : 30mins
Evaporation Source Mass : Linear Source
R&D ~ P/P : Parallel Shot by Point Source
Thickness Uniformity Organic : ≤± 3%(Organic), ≤± 4%(Metal)
Align Accuracy Mechanical Align : ≤± 150㎛