Cluster Sputter

  • Inline Cluster
  • Inline Cluster

▷ 자동화된 생산라인이나 개발 및 연구현장 등에 적합한 System
▷ 고집적화 된 Technology와 Mechanism을 제공

Application
- 다양한 박막(Metal, Oxide, TCO)공정에 적용
- 고집적 반도체 및 전자부품 기판 공정
- 박막태양전지 제조 공정
Specification
구성 Loading, Transfer, Pre-treatment, Deposition(PVD, CVD)
제품 이송 고진공 자동 Robot
Cathode Planar or Round Magnetron cathode
Target Metal, Oxide, TCO