클러스터 스퍼터
클러스터 스퍼터는 단일 진공 환경에서 다중 공정을 구성하는 고유연성 R&D·파일럿용 시스템입니다.
- 자동화된 생산라인이나 개발 및 연구현장 등에 적합한 System
- 고집적화 된 Technology와 Mechanism을 제공
적용 분야
- 다양한 박막(Metal, Oxide, TCO)공정에 적용
- 고집적 반도체 및 전자부품 기판 공정
- 박막태양전지 제조 공정
사양
| 구성 | 로딩, 전처리, 증착, 버퍼 공정, 언로딩 |
|---|---|
| 제품 이송 | 고진공 자동 Robot |
| 캐소드 | 평면형 또는 원통형 마그네트론 캐소드 |
| 타깃 | 금속, 산화물, TCO(투명 전도성 산화물) |