Batch Sputter
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제품소개 Sputtering system Batch Sputter
▷ 다양한 박막증착이 가능하여 연구개발용으로 적합한 시스템
Application
- 고집적 전자부품 및 광소자용 부품
- 고경도막 코팅
- 고경도막 코팅
Specification
| 구성 | Pre-treatment, Deposition |
| 특징 | Drum type, Dual-side deposition |
| Cathode | Planar Magnetron cathode |
| Target | Metal, Oxide, TCO |