selcos@selcos.co.kr

배치 스퍼터

배치 스퍼터는 소량 공정에 최적화된 시스템으로 다양한 박막 조건을 유연하게 적용합니다.

R&D Sputtering System with Planar Magnetron Cathode for Electronic Components

Drum Type Dual-side Deposition Sputtering System for High Hardness Coating

적용 분야

사양

구성	전처리, 증착
특징	드럼 타입, 양면 증착
캐소드	평면형 마그네트론 캐소드
타깃	금속, 산화물, TCO(투명 전도성 산화물)