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R&D / 연구용 시스템
R&D / 연구용 시스템은 OLED 소형 디바이스 공정과 증착·봉지 실험에 최적화된 장비입니다.
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- OLED Panel 연구개발용으로 적합한 시스템
- 효율적인 투자비용으로 유/무기 증착 및 봉지공정까지 일괄적으로 수행
적용 분야
- 연구/개발 Application
- Small size OLED device 연구/개발용
- OLED 재료 개발용
사양
| 구성 | 플라즈마 처리, 유기물/금속 증착, 봉지(Encapsulation) 유닛 |
|---|---|
| 특징 | 기판 핸들링 및 자동화,기판-마스크 정렬, 서브 셔터 |
| 소스 | 포인트 에퓨전 셀 |
| 원재료 | 유기물 및 금속 소재 |