R&D / 연구용 시스템

R&D / 연구용 시스템은 OLED 소형 디바이스 공정과 증착·봉지 실험에 최적화된 장비입니다.

적용 분야

사양

구성 플라즈마 처리, 유기물/금속 증착, 봉지(Encapsulation) 유닛
특징 기판 핸들링 및 자동화,기판-마스크 정렬, 서브 셔터
소스 포인트 에퓨전 셀
원재료 유기물 및 금속 소재