인라인 스퍼터
인라인 스퍼터는 완전 자동화 연속 공정으로 대량 생산에서 높은 가동률과 균일한 박막 품질을 구현합니다.
- 완전 자동화 시스템 구축, 안정된 품질 확보를 위한 다양한 기술 제공
- 높은 가동률, 생산성 극대화, 다양한 확장성
적용 분야
- 다양한 박막(Metal, Oxide, TCO)공정에 적용
- 다양한 제품(Plastic, Glass 등)에 적용
- 다양한 형상(Deco, Tool, Special model)에 적용
사양
| 구성 | 로딩, 전처리, 증착, 버퍼 공정, 언로딩 |
|---|---|
| 공정 소요 시간 | 3분 이내 |
| 캐소드 | 평면형 또는 원통형 마그네트론 캐소드 |
| 타깃 | 금속, 산화물, TCO(투명 전도성 산화물) |