Cluster System

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▷ OLED Panel 및 재료개발용 시스템
▷ 초고진공영역에서 증착/봉지 공정을 통한 고효율/고수명 Panel 제작 시스템
▷ 고효율/고수명 확보를 위해 세정 및 Out-gassing 제거 방안 적용

Application
- OLED Display Panel 생산용
- OLED Display 연구/개발용
- OLED 재료 개발용
Specification
구성 Plasma Treatment, Organic/Meal deposition, Encapsulation unit
특징 Source auto-feeding unit, Auto aligner unit
Source Point source, Linear source