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클러스터 시스템
클러스터 스퍼터는 단일 진공 환경에서 다중 공정을 구성하는 고유연성 R&D·파일럿용 시스템입니다.
- OLED Panel 및 재료개발용 시스템
- 초고진공영역에서 증착/봉지 공정을 통한 고효율/고수명 Panel 제작 시스템
- 고효율/고수명 확보를 위해 세정 및 Out-gassing 제거 방안 적용
적용 분야
- OLED Display Panel 생산용
- OLED Display 연구/개발용
- OLED 재료 개발용
사양
| 구성 | 플라즈마 처리, 유기물/금속 증착, 봉지(Encapsulation) 유닛 |
|---|---|
| 특징 | 소스 자동 공급 유닛, 자동 정렬(얼라이너) 유닛 |
| 소스 | 포인트 소스, 리니어 소스 |