진공 부품 및 스퍼터링용 합금 타겟
진공 부품·스퍼터링 합금 타겟은 자체 제작 기반으로 안정적인 박막 품질과 공정 신뢰성을 지원합니다.
- 자체 제작품인 효율적이고 신뢰성 높은 스퍼터링용 캐소드 및 합금 타겟, 유/무기 증착원 및 관련 부품을 공급
스퍼터링 캐소드
- 유형: 평면형, 원형, 육각형, 원통형 마그네트론 건
- 크기: 최대 2,000mm까지 가능
- 타겟 재료: 금속(Metal), 산화물(Oxide), 투명 전도성 산화물(TCO)
스퍼터링 타겟
- 타겟 재료: 금속 (은, 금, 티타늄 컬러 코팅용)
증착원
- 유형: 포인트 셀, 리니어 셀
- 용량: 호스트 및 도판트 (3cc부터 지원)
- 재료: 유기 및 무기 재료