Cluster Sputter

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  • Inline Cluster
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▷ 适用于自动化生产线，开发以及研究现场。
▷ 提供高集成化的技术和机制。

Application
- 适用于多样的薄膜 (Metal, Oxide, TCO 等) 流程
- 适用于高集成半导体以及电子配件基板流程
- 适用于薄膜太阳电磁流程
Specification
构成 Loading, Transfer, Pre-treatment, Deposition(PVD, CVD)
制品转移 高真空自动
Cathode Planar or Round Magnetron cathode
Target Metal, Oxide, TCO