Batch Sputter

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  • Inline batch
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▷ 通过有效率的投资提供于高生产性且能实现多样的薄膜沉积。

Application
- 利用为功能性薄膜的传感器
- 高集成电子配件以及用于光量子的配件
Specification
构成 Pre-treatment, Deposition
特点 Drum type, Dual-side deposition
Cathode Planar Magnetron cathode
Target Metal, Oxide, TCO