Cluster 装备

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  • Cluster System
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▷ OLED芯片及材料开发用装备。
▷ 在超高真空层面下，通过沉积封装制作高效率并高寿命芯片。
▷ 为了确保高效率与高寿命，适用于冲洗及Out-gassing方案。

Application
- OLED Display用 Panel 生产用
- OLED Display 研究 / 开发用
- OLED 物质开发用
Specification
构成 Plasma Treatment, Organic/Meal deposition, Encapsulation unit
特点 Source auto-feeding unit, Auto aligner unit
Source Point effusion Cell, Linear source, Magnetron cathode(Option), E-Beam source(Option)
Target Organic and Metal, TCO